氨气纯化系统
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氨气纯化系统是以工业一等品液氨为原料,通过多级工艺生产高纯氨的专用设备,主要应用于半导体照明、液晶显示、集成电路制造及电子特气等领域。其核心工艺包括活性炭过滤、尘埃分离、精馏脱除低沸点杂质及双效脱氧干燥等步骤,可产出纯度达99.999%乃至更高纯度(>7N)的高纯氨 。
该系统采用防爆型电加热汽化器与集成式氨蒸馏塔设计,结合吸附、精馏与超滤技术,通过双吸附容器实现连续净化。关键技术包括波纹填料精馏、分层套筒结构除氧干燥,以及专用催化剂、吸附剂的应用,配套ppb级乃至ppt级分析检测体系确保杂质含量达标 。部分装置采用催化分解工艺,配合分子筛吸附再生技术,进一步降低残氨与水分含量,并应用了不放热原料预脱氧等技术 。自2008年实现工业化后,相关技术于2010至2012年间获得了发明专利授权,已建成规模化连续生产体系 。
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